根據(jù)ISO14644-3.B.6給出的測試方法，高效風(fēng)口檢漏試驗一般采用氣溶膠光度計法和離散粒子計數(shù)法。本文通過對比試驗對氣溶膠光度計法與粒子計數(shù)法這兩種測試方法的技術(shù)與經(jīng)驗的相同點及不同點進行了相關(guān)探討，其試驗結(jié)論對于提高目前風(fēng)口檢漏的檢測水平起到了積極的推動作用。
一、高效過濾器效率與檢漏
高效過濾器過濾效率是指的濾器本身的效率,隨執(zhí)行的標(biāo)準(zhǔn)及測試方法不同而異。當(dāng)前對高效過濾器效率的測試方法有:DOP法,以光度計檢測,不如粒子計數(shù)法靈敏,有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)可見美國IEST-RP-CC001:粒子計數(shù)法,以粒子計數(shù)器作為檢測儀器,使用單分散或多分散氣溶膠,靈敏度高,多用于超高效過濾器,相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)可見EST-RP-CC007最易穿透粒徑法(MPS),采用粒子計數(shù)器作為檢測儀器,使用的氣溶膠同前,此法是歐盟EN1822標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定,與粒子計數(shù)法的區(qū)別是以過濾器最易穿透的粒徑作為測試用粒徑;鈉焰法,此法采用火焰光度計,對NaCL燃燒的火焰色度作響應(yīng),相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)見我國“高效空氣過濾器GB13554-92靈敏度低,且NaCL對微電子產(chǎn)品質(zhì)量有害,國外已不用對制藥企業(yè)來講,高效過濾器檢漏主要是現(xiàn)場檢漏,通過DOP法發(fā)現(xiàn)濾器本身及運輸、安裝過程中可能存在的問題。常使用氣溶膠光度計及多發(fā)散氣溶膠,因其比單分散氣溶膠來得經(jīng)濟方便并能滿足要求。
氣溶膠光度計
二、氣溶膠光度計與粒子計數(shù)器
檢測儀器可使用氣溶膠光度計或粒子計數(shù)器。粒子計數(shù)器檢測的是粒子的數(shù)量分布,常以“粒/L”單位表示,而光度計檢測的是粒子的質(zhì)量濃度,以"mgL"表示。最多數(shù)量分布的粒子與最大濃度分布的粒子并不處于同一粒徑,因為粒徑與重量成三次方的關(guān)系,大粒徑的粒子在濃度分布中占有較大的比重。因此在檢測濾器效率時,使用粒子計數(shù)器和光度計得到的結(jié)果會有差別。與粒子計數(shù)器相比,光度計靈敏度及精度稍差,因此不用來檢測H13級以上的高效過濾器及超高效過濾器。對于制藥企業(yè)高效過濾器的現(xiàn)場檢漏而言,因光度計使用方便、檢測結(jié)果易于判斷、對泄漏檢測比較感而得到廣泛應(yīng)用。
粒子計數(shù)器
三、檢漏標(biāo)準(zhǔn)
在檢漏結(jié)果的判定上,不同的標(biāo)準(zhǔn)也有所差異。美國IEST-RP-CC034規(guī)定C、D級高效過濾器現(xiàn)場檢漏透過率0.3um,光度計掃描檢漏法)為0.01。歐盟EN1822規(guī)定檢漏測試只要被測過濾器的局部透過率不超過規(guī)定的局部值便為合格,H13級高效過濾器對應(yīng)的局部透過率為0.25%,但要注意這里的透過率是以0.3um單分散相DOP測試得出的。我國在“潔浄廠房設(shè)計規(guī)范GB50073-2001及高效空氣過濾器GB13554-92”中關(guān)于已安裝過濾器的泄漏測試,規(guī)定使用大氣塵或其它氣溶膠,采用粒子計數(shù)器測得泄漏濃度,對于高效過濾器,穿透率不應(yīng)大于過濾器出廠合格穿透率的2倍。對于制藥企業(yè)HEPA的檢漏測試,在實際測試中,若有泄漏,光度計數(shù)值會明顯升高,易于判斷,高效過濾器泄漏率標(biāo)準(zhǔn)定為小于等于0.01%并不影響實際泄漏的檢測。
來源：天氏庫力 發(fā)布日期
2020-07-13 瀏覽：
